应用领域：
1、电子显微镜原位纳米探针台
2、半导体芯片检测
3、光刻机工件台
4、微生物操纵手
5、光纤焊接
参数如下：
| 外形尺寸：30*31*14.5mm | 驱动机构：钹青铜 | 最大速度：6°/s | 是否适用真空：是 |
| 台面平面度：10um | 导线：屏蔽线，铜线 | 细调步进：1.4u° | 控制类型：开环 |
| 总重量：50g | 行程：±20° | 细调范围：5.7m° | 运动分辨率：1.4u° |
| 机身：铝合金 | 载物台回转半径：21.3° | 垂直载物台面负载：5N | 最大驱动电压：80V |
| 驱动：PZT压电陶瓷 | 运动步进：0.1~5.5m° | 操作温度：-269~100℃ |
