规格 | XY轴 | θXθY轴 | Z轴 | θZ轴 |
有效行程 | ±50mm | ±3deg | ±50mm | ±5deg |
电机类型 | 直线电机 | 直线电机 | 直线电机 | 直驱电机 |
光栅分辨率 | 4.88nm（1vpp） | 4.88nm（1vpp） | 4.88nm（1vpp） | 0.04sec |
最小步长 | 100nm | 0.3sec | 100nm | 0.1sec |
重复定位精度 | ±0.2um | ±1sec | ±0.3um | ±1sec |
定位精度 | ±1um | - | ±1um | ±5sec |
最大速度 | 100mm/s | 30deg/sec | 15mm/s | 4rps |
最大负载 | 水平负载10kg，垂直使用负载请联系厂家沟通 | |||
最大质量 | 整机重量20kg | |||
