应用领域：
1、电子显微镜原位纳米探针台
2、半导体芯片检测
3、光刻机工件台
4、微生物操纵手
5、光纤焊接
参数如下：
| 外形尺寸：φ33*14.2mm | 驱动机构：钹青铜 | 最大速度：0.419（24）rad/s（°/s） | 垂直运动方向负载：10N |
| 运动平移量：10um | 导线：屏蔽线，铜线 | 细调步进：0.52u° | 负载扭矩：50N*mm |
| 总质量：30g | 行程：360°无限制 | 细调范围：34m° | 闭环（开环）操作温度：-20~80（-269~80）℃ |
| 机身：铝合金 | 回转直径：33mm | 重复定位精度：1.3m° | 是否适用真空：是 |
| 驱动：PZT压电陶瓷 | 运动步进：0.3-23 | 分辨率：0.33m° | 控制类型：开环/闭环 |
| 开环运动分辨率：＜1nm | 最大驱动电压：80V |
