参数 | 项目 | ZYY-ZTA-XY-200X200 | ZYY-Z20(气浮导轨) |
电机类型 | 三相无铁芯电机 | 音圈电机 |
光栅分辨率 | 默认100nm数字量 | 1vpp 细分至5nm |
电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续27N/峰值119N |
最小步长[nm] | 200nm | 100nm |
行程 [mm] | 200x200 | 10 |
重复定位精度 [um] | ±0.3 | |
定位精度 [um] | ±1 | ±0.5 |
平面度 [um] | 10um | 5um |
直线度 [um] | 1um | 1um |
最大速度 [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
最大负载 [kg] | 5kg（Z轴带气动恒力平衡配重） | |
